半導体製造における各工程では、さまざまな等方性黒鉛が使用されています。 これらに要求される品質は、高純度、高密度、高耐性。　すなわち、高集積化対応と耐用性向上をもたらすものであります。 したがって、その要求品質は常に進化、最先端の技術が求められています。 シナジーテック株式会社は、高純度、高密度のCZ用等方性黒鉛、半導体用治具、ウェハープロセッシング用部品等各種黒鉛製品をご提供し、高集積度半導体の生産に貢献いたしております。

 

CZ用等方性高純度黒鉛

シリコン単結晶の引上げ装置（CZ法）には、高純度の黒鉛が使用されます。 大型で良質のシリコン単結晶の製造に必要な大型等方性の超高純度黒鉛製品（ヒーター、るつぼ等）をご提供いたします。 シリコン単結晶の直径に合わせ、各種サイズ対応が可能ですので、お問合せください。

 

半導体用治具

トランジスター、水晶振動子などの電子部品の封着用、ダイオード等の半導体素子やリードピンを、ガラスに封入する際に使用される治具として広く使用されています。 きわめて高い精密加工技術を必要とされる高精度の製品を取り扱っております。

 

ウェハープロセッシング用部品

シリコンウェハー製造過程で必要とされる各種黒鉛製品・部品を取り扱っております。 LED用ボード　：　発光ダイオード（Ga-P,Ga～As）の液相エピタキシャル用ボード及び付属品。 プラズマCVD用部品　：　プラズマ用CVDサセプター、電極チャンバー、ノズル、ライニング、イオンビーム用ルツボ、スパッタリング用電極、MOCVDサセプター等。

 

光ファイバー用ホットゾーン

光ファイバー製造用ヒーター、ヒートシールド等、高純度黒鉛製品を取り扱っております。

 

SiCコーティング黒鉛

黒鉛の欠点を補うために、SiCによるコーティングを施し、黒鉛の長所と皮膜特性を兼ね備えた新機能の材料です。 急速局部加熱、物理的衝撃に強く、 耐薬性にも優れ、 微細加工形状にも均一にコーティングが可能な超高純度の製品です。 エピタキシャル用サセプター 、CVC用サセプター、ヒーター、単結晶引き上げ用部品等を取り扱っております。 また、SiCコーティングサービスもご提供いたします。